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光刻机

编辑:0次 | 浏览:666次 词条创建者:AyZ     创建时间:03-20 09:24

标签: 光刻机 芯片 设备仪器

摘要: 光刻机（lithography）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。[阅读全文:]